Ο λεπτός ψεκάζοντας στόχος βολφραμίου μεγέθους σιταριού με το ισχίο/Cip/σφυρηλατεί τη διαδικασία

Ο ψεκάζοντας στόχος βολφραμίου είναι ένα σημαντικό υπόστρωμα για την ταινία οξειδίων βολφραμίου για να πραγματοποιήσει τη λειτουργική μετάβασή του στη συσκευή ημιαγωγών. Λόγω του υψηλού σημείου τήξης του βολφραμίου, οι στόχοι βολφραμίου προετοιμάζονται κυρίως από τη μεταλλουργία σκονών

Λόγω της υψηλής θερμοκρασίας σταθερότητάς της, η υψηλή αντίσταση μεταφορών ηλεκτρονίων και ο υψηλός συντελεστής εκπομπής ηλεκτρονίων, το πυρίμαχα βολφράμιο μετάλλων και τα κράματα βολφραμίου έχουν χρησιμοποιηθεί ευρέως στην κατασκευή ολοκληρωμένων κυκλωμάτων μεγάλων κλιμάκων ημιαγωγών. High-purity στόχοι βολφραμίου και κραμάτων βολφραμίου για τους ημιαγωγούς. Οι τομείς εφαρμογής, οι απαιτήσεις απόδοσης και οι μέθοδοι προετοιμασιών των υλικών αναλύθηκαν λεπτομερώς, και η τάση ανάπτυξης ερευνήθηκε. Οι High-purity στόχοι βολφραμίου και κραμάτων βολφραμίου χρησιμοποιούνται κυρίως για να κατασκευάσουν τα ηλεκτρόδια πυλών, την καλωδίωση σύνδεσης και τα εμπόδια διάχυσης των ολοκληρωμένων κυκλωμάτων ημιαγωγών. Κ.λπ.,

υπάρχουν εξαιρετικά υψηλές απαιτήσεις στην αγνότητα των υλικών, την περιεκτικότητα σε ακαθαρσίες, την πυκνότητα, το μέγεθος σιταριού και την ομοιομορφία δομών σιταριού. Οι High-purity στόχοι βολφραμίου και κραμάτων βολφραμίου χρησιμοποιούν κυρίως την καυτή συμπίεση, την καυτή ισοστατική συμπίεση, κ.λπ. Με τη βοήθεια της μέσος-συχνότητας που συμπυκνώνει + η επεξεργασία πίεσης, high-purity, στόχοι βολφραμίου υψηλής πυκνότητας μπορεί να προετοιμαστεί, αλλά ο έλεγχος ομοιομορφίας μεγέθους σιταριού και δομών σιταριού, δεν είναι τόσο καλός όσο τους στόχους βολφράμιο που προετοιμάζονται με την καυτή ισοστατική συμπίεση.

Συμπυκνωμένος στόχος βολφραμίου για την επιμετάλλωση, που χαρακτηρίζεται δεδομένου ότι εκθέτει μια σχετική πυκνότητα 99% ή περισσότερων, μια μέση διάμετρο σιταριού κρυστάλλου 100 μ ή λιγότεροι, μια περιεκτικότητα σε οξυγόνο 20 PPM ή λιγότεροι και μια δύναμη εκτροπής του MPA 500 ή περισσότεροι και μια μέθοδο για το στόχο βολφραμίου με τη σταθερότητα με χαμηλότερο κόστος, το οποίο χρησιμοποιεί τους βελτιωμένους όρους παραγωγής για μια σκόνη βολφραμίου πρώτης ύλης και τους βελτιωμένους όρους συμπύκνωσης. Ο συμπυκνωμένος στόχος βολφραμίου έχει ένα υψηλό επίπεδο της πυκνότητας και ενός υψηλού βαθμού της λεπτομέρειας μιας δομής κρυστάλλου που δεν έχει επιτευχθεί ποτέ με μια συμβατική μέθοδο συμπύκνωσης πίεσης και βελτιώνεται εμφανώς στη δύναμη εκτροπής, η οποία έχει οδηγήσει στη σημαντική μείωση στο περιστατικό των ατελειών μορίων.

Υλικό: Βολφράμιο

Όρος: έδαφος

Εφαρμογή: Βιομηχανία επιστρώματος PVD, των ακτίνων X σωλήνας και ούτω καθεξής.