Ανταλλακτικά βολφραμίου & μολυβδαίνιου για τα εργαλεία Ionenimplantation

Ανταλλακτικά βολφραμίου & μολυβδαίνιου για τα εργαλεία Ionenimplantation

Τα ανταλλακτικά βολφραμίου & μολυβδαίνιου για τα εργαλεία Ionenimplantation είναι μια κενή διαδικασία στη βιομηχανία ημιαγωγών για να ναρκώσουν τις γκοφρέτες με τα ιόντα, τα οποία αλλάζουν τις ηλεκτρικές ιδιότητες του υλικού γκοφρετών, π.χ. η αγωγιμότητα. Η διαδικασία διαιρείται στα ακόλουθα βήματα: Δημιουργία των ιόντων σε μια ιονικούς πηγή, μια εξαγωγή και μαζικό έναν χωρισμό των ιόντων για την εκλεκτική εμφύτευση, ένα diverion της ακτίνας, μια επιτάχυνση και μια εστίαση της ιονικής ακτίνας στην γκοφρέτα. Αυτή η περιοχή ενός ιονικού implanter καλείται γραμμή ακτίνων.

Τα υλικά υψηλής επίδοσης που χρησιμοποιούνται για τα μέρη στη γραμμή ακτίνων είναι βολφράμιο, μολυβδαίνιο, Tantal και γραφίτης. Επιπλέον οι μονωτές της υψηλής καθαρής κεραμικής, π.χ. ΔΙΣΕΚΑΤΟΜΜΥΡΙΟ χρησιμοποιούνται.

Το Fanmetal παρέχει υψηλό - ποιοτικά αναλώσιμα και τμήματα αντικατάστασης για το beamline σε ιονικό Implanters AMAT, Varian και Axelis. Οι βελτιώσεις εξοπλισμού και οι τροποποιήσεις των μερών που χορηγούν τις απαιτήσεις των πελατών για τις βελτιώσεις διαδικασίας είναι πρόσθετη υπηρεσία.

Σχηματική αναπαράσταση της ιονικής ακτίνας σε έναν ιονικό implanter.

Ανταλλακτικά βολφραμίου & μολυβδαίνιου για την εικόνα εργαλείων Ionenimplantation: