Ιονικό μέρος εμφύτευσης μολυβδαίνιου ASTM Mo για τη βιομηχανία ημιαγωγών

Περιγραφή προϊόντων

2022 ιονικό μέρος εμφύτευσης μολυβδαίνιου με την καλή τιμή

Το ιονικό μέρος εμφύτευσης μολυβδαίνιου είναι μια πολύ σημαντική τεχνολογία στη σύγχρονη κατασκευή ολοκληρωμένων κυκλωμάτων. Χρησιμοποιεί μια ιονική μηχανή εμφύτευσης για να πραγματοποιήσει τη νάρκωση των ημιαγωγών, δηλ., χρησιμοποιώντας το καλώδιο βολφραμίου ως κάθοδο για να εκπέμψει τα ηλεκτρόνια για να βομβαρδίσει τα μόρια αερίου που περιλαμβάνουν τα συγκεκριμένα στοιχεία ακαθαρσιών, και τα ιονισμένα συγκεκριμένα άτομα ακαθαρσιών παράγονται. Μετά από να επιταχυνθούν από τον ηλεκτροστατικό τομέα, χτυπούν την επιφάνεια της γκοφρέτας ενιαίου κρυστάλλου πυριτίου, και εισάγουν τον ημιαγωγό, αλλάζουν τα αγώγιμα χαρακτηριστικά και διαμορφώνουν τελικά μια δομή κρυσταλλολυχνιών.

Όταν η ιονική πηγή μετατρέπεται στο ιονικό μέρος εμφύτευσης plasmaMolybdenum, θα παραγάγει μια θερμοκρασία εργασίας περισσότερο από το 2000 ℃. Όταν η ιονική ακτίνα εκρήγνυται, θα παραγάγει επίσης πολλή ιονική κινητική ενέργεια, και το γενικό μέταλλο θα καψει γρήγορα. Επομένως, τα αδρανή μέταλλα με την υψηλή μαζική πυκνότητα απαιτούνται για να διατηρήσουν την κατεύθυνση της έκρηξης ιονικών ακτίνων και να αυξήσουν τη διάρκεια των συστατικών. Το βολφράμιο και το μολυβδαίνιο είναι τα απαραίτητα υλικά. Λόγω των πλεονεκτημάτων των υλικών μολυβδαίνιου βολφραμίου, όπως οι σταθερές υψηλής θερμοκρασίας χημικές ιδιότητες, η μικρή θερμική παραμόρφωση και η μακριά ζωή υπηρεσιών, η ιονικά πηγή και τα μέρη κατανάλωσης των ιονικών implanters στη βιομηχανία ημιαγωγών αποτελούνται συνήθως από τα υλικά βολφραμίου και μολυβδαίνιου. Αυτές οι συσκευές περιλαμβάνουν τον κύλινδρο προστατευτικών καλυμμάτων της καθόδου εκπομπής ηλεκτρονίων, της επιτροπής εκπομπής, της κεντρικής σταθερής ράβδου, του πιάτου ηλεκτροδίων καλωδίων στην αίθουσα τόξων, κ.λπ., οι οποίες αναφέρονται συλλογικά ως μέρη βολφραμίου για τα ιονικά μέρη εμφύτευσης και μολυβδαίνιου για την ιονική εμφύτευση.

Ιονική εικόνα μερών εμφύτευσης μολυβδαίνιου: